概述：多晶硅生产过程中有两种废水产生：一种是废氢氟酸，含有大量的氟离子；另一种是含有盐酸的废水，PH值在2~3左右，酸性很强，氯离子含量较高。废水产生的部门不同,其特点各异。

　　1.多晶硅废水:是三氯硅烷还原生成多晶硅过程中产生的尾气经水淋洗产生的。废水中主要物质为:SiO₂^.HCl硅醇及脱水成聚硅氧烷和硅酸,偏硅酸等.废呈强酸性, SiO₂的粒径极小,大部分聚成团漂浮的水面。

　　2.切、磨、抛废水来自三个工序:(1)切片工序主要为:粘石腊,冷却水等, 废水中主要物质为: 石腊、硅粉；(2)磨片工序的磨液成分为:洗液和肥皂制成浮液， 废水中主要物质为:表面活性剂、硅粉；(3)抛光工序的抛光液的成分:环烷烃, 废水中主要物质为:硅粉和烃类有机物。三种废水混合中灰色有乳状体。

　　3.有机硅废水是:由氯丙烷在铂酸作催化剂的条件下,与三氯硅烷加成反应生成氯丙基三氯硅烷然后经粗精馏后产生的残液和氯丙烯瓶中的残液,用水冲洗产生的, 废水中主要物质为: 三氯硅烷, 氯丙烷和HCl.氯丙烷和HCl的来源是氯丙烯水解产生的,故废水呈酸性。

三部分废水混合后,废水呈酸性,灰色的乳状液体(强酸有一定的破乳性),但有胶体存在,主要是硅酸,偏硅酸和硅醇分子间脱水聚缩而成聚硅氧烷引起的。

 2、含酸废水处理工艺流程